ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標準規范
ISO14644-1、GB50073-2001criterion standard of clean workshop
Class等級
|
等級限制(Limited Class)
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
1
|
10
|
2
|
/
|
/
|
/
|
/
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
/
|
/
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
/
|
4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
/
|
5
|
100000
|
23700
|
10020
|
3520
|
832
|
29
|
6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
7
|
/
|
/
|
/
|
352000
|
83200
|
2930
|
8
|
/
|
/
|
/
|
3520000
|
832000
|
29300
|
9
|
/
|
/
|
/
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
注:1.每個采點應至少采樣3次;
2.本標準不舍用于表征懸浮粒子的物理性,化學性、放射性及生命性;
3.根據工藝要求確點1至2種粒徑;
4.各種要求粒徑D的粒子大允許濃度Cn由公式確定,要求的粒徑在0.1~5um范圍,包括0.1um及5um。
Cn=10NX(0.1/D)2.08
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的粒子允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數,有效位數不超過三位數。
N——沽浄度等扱, 敷字不超出9、 潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為允許遞增量。
D——要求的粒徑(um)。
0.1——常數,其量綱為um。
美國聯邦標準
(FS209E)America federation standard (FS209E)
等級(Class)
|
粒徑(um)diameter of dust(um)
|
01.
|
0.1
|
0.2
|
0.3
|
0.5
|
50
|
1
|
35
|
35
|
7.5
|
3
|
1
|
/
|
10
|
350
|
350
|
75
|
30
|
10
|
/
|
100
|
/
|
/
|
750
|
300
|
100
|
/
|
1000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
1000
|
7
|
10000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
10000
|
70
|
100000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
100000
|
700
|
各行業潔凈等級分類
行業分類
|
潔凈度
|
級別
|
01.μm級
|
1.000
|
10.000
|
100.000
|
|
|
0.5μm級
|
10
|
100
|
1.000
|
10.000
|
100.000
|
用途
|
半導體工業
|
拉單晶
|
/
|
|
|
|
擴散
|
|
/
|
|
|
|
腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發
|
/
|
|
|
|
組裝試驗
|
|
/
|
原料
|
|
|
/
|
|
|
研磨
|
|
/
|
|
|
/
|
包裝
|
|
|
|
|
|
半成品儲藏
|
|
|
|
/
|
|
激光工業
|
氣體激光
|
|
/
|
|
|
|
固體激光
|
/
|
|
|
|
半導體激光、激光手術刀
|
|
/
|
|
|
|
光學儀器
|
鏡片研磨
|
|
/
|
|
刻標
|
|
/
|
|
|
|
醫用照相機加工、裝配、鏡頭組裝
|
|
/
|
|
|
|
膠片制造、干燥
|
|
|
|
/
|
|
縮微膠片、顯像、干燥
|
|
/
|
|
|
組裝
|
|
/
|
|
涂漆、試驗、檢查
|
|
|
|
/
|
計時·精密儀器
|
電子表、零件組裝、火箭零件加工組裝
|
|
/
|
|
|
|
人造衛星控制裝置
|
/
|
|
|
|
高可靠性部件裝置
|
|
/
|
|
|
微型軸承
|
/
|
|
|
|
普通軸承
|
|
|
|
|
/
|
組裝,檢查
|
/
|
|
|
|
電子計算器
|
磁鼓、磁帶、磁盤
|
|
/
|
|
|
|
加工、組裝、試驗、檢查
|
|
/
|
電子機械、電子式計算測試
|
顯像管
|
|
/
|
/
|
|
|
高可靠管、光導攝像管
|
|
/
|
|
|
|
印制板
|
|
|
|
/
|
|
小型續電器
|
|
/
|
|
|
精密電器儀表
|
|
/
|
|
零件、加工、組裝、檢查
|
|
/
|
藥品·醫學·醫院
|
制藥工序
|
|
/
|
|
|
注射液·安瓶封瓶
|
|
/
|
|
注射·林格氏液·疫苗貯存
|
|
/
|
無菌手術室
|
|
/
|
一般手術室、恢復室、LCU、CCU
|
|
/
|
|
|
|
無菌病房
|
|
/
|
|
|
新生嬰·早產嬰兒室
|
|
/
|
|
|
|
無菌房、手術機械保管室、無菌動物實驗、細菌實驗
|
|
|
|
/
|
藥劑室
|
|
/
|
|
一般病房、診療室
|
|
|
|
/
|
食品釀造
|
牛奶、酒、乳酸菌飲料
|
|
/
|
|
|
|
清涼飲料的瓶裝,封口
|
|
/
|
|
乳制品、糕點包裝
|
|
|
|
|
/
|
火腿片制造、蘑菇種植
|
|
/
|
|
|
肉食加工
|
|
|
/
|